晶盛机电等“晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法”专利获授权

天眼查APP显示，近日，内蒙古晶环电子材料有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司申请的“晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法”专利获授权。摘要显示，本申请提供了一种晶托夹持装置、线切机及晶托夹持方法，属于晶棒加工技术领域，解决了现有的晶托夹持方式导致切割晶棒容易隐裂的问题。本申请包括基座、第一夹持组件以及第二夹持组件，其中，基座上设有固定夹持面和浮动夹持面，固定夹持面用于与晶托上表面的第一部分抵接，浮动夹持面可以上下浮动与晶托上表面的第二部分抵接，第一夹持组件可以抬升晶托的两端，第二夹持组件可以顶升晶托的中部区域。本申请利用浮动调节件向下活动，从而抵接支撑晶托上表面的第二部分，晶托不会产生夹持弯曲，且当基座带动晶托和晶棒下压切割线时，固定夹持面与浮动夹持面均可以对受到的切割反作用力进行有效支撑，晶棒切割的隐裂概率可有效降低。